本發明涉及制備鈮酸鋰光波導的鈦擴散裝置及 其方法,所述鈦擴散裝置包括三氧化二鋁支架,用于支承待擴 散的鈮酸鋰基片;三氧化二鋁陶瓷盒,用于盛裝支承有鈮酸鋰 基片的三氧化二鋁支架;鈮酸鋰粉末,置于陶瓷盒底部位于支 架的下方;擴散爐,由三氧化二鋁陶瓷管和套置在其外周的加 熱爐管組成,用于產生高溫擴散環境;鼓泡裝置,用于產生高 溫的濕氧供給擴散爐。本發明由于采用高純Al2O3管道、容器及支架作為鈦擴散裝置,克服了高溫下在石英容器擴散環境中發生的復雜化學反應,消除了該反應在波導中產生光散射點等缺陷。而在Al2O3盒中加入鈮酸鋰粉末,進一步抑制Li2O的擴散,提高了波導質量。
聲明:
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