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    石墨烯鈮酸鋰多層結構混合集成光學調制器及其制備方法

    793   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:11:28
    本發明公開了一種石墨烯鈮酸鋰多層結構混合集成光學調制器及其制備方法，涉及光學調制器領域。該光學調制器包括雙層石墨烯鈮酸鋰光波導，雙層石墨烯鈮酸鋰光波導包括第一石墨烯層、鈮酸鋰平板波導、第二石墨烯層、第一高折射率材料層；光輸入端和光輸出端沿平行于襯底的第一方向分布，第一方向上具有相對設置的兩端，一端與光輸入端連接，另一端與光輸出端連接；在平行于襯底且垂直于第一方向的第二方向上，第一石墨烯層的一端延伸至襯底的邊緣，鑲嵌有第一電極；第二石墨烯層相對的一端延伸至襯底另一側的邊緣，鑲嵌有第二電極。本發明制備的光學調制器調制效率高，響應速率高，工作帶寬大，插入損耗小，器件尺寸小。
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