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    基于鈮酸鋰薄膜材料移相控制的光學相控陣及制備方法

    782   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:11:29
    本發明提供一種基于鈮酸鋰薄膜材料移相控制的光學相控陣及制備方法，光學相控陣包括：硅基底；氧化硅層，位于硅基底上；硅基光波導層，位于氧化硅層上，硅基光波導層包括耦合分束器及光柵天線，耦合分束器及光柵天線之間具有間隙帶；氧化硅包層，填充于硅基光波導層周圍及間隙帶；鈮酸鋰移相器，包括位于間隙帶上的鈮酸鋰薄膜、位于鈮酸鋰薄膜上且連接耦合分束器及光柵天線的鈮酸鋰光波導、以及位于鈮酸鋰光波導兩側的鈮酸鋰薄膜上的調制電極。本發明采用具有高電光系數、低損耗的材料如鈮酸鋰來代替傳統的光學相控陣中所用的熱調電阻或者載流子注入的相位調制方式，可以在光學相控陣中進行低功耗、高速、低波導損耗的光學相位調制。
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