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    紫外感光鈮酸鋰溶膠及其薄膜微細圖形的制備方法

    994   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:11:53
    本發明公開了紫外感光鈮酸鋰溶膠的制備方法，以Nb(CH3CH2O)5、CH3COOLi·2H2O、苯酰丙酮、無水乙醇、丙烯酸按一定的摩爾比例制成，隨后添加無水乙醇調節至金屬總離子濃度為0.3～0.5mol/L，即可得到感光LiNbO3溶膠；本發明還公開了使用紫外感光鈮酸鋰溶膠制備薄膜微細圖形的方法，利用感光LiNbO3溶膠，通過浸漬提拉法在基板上制備凝膠薄膜，隨后依次經干燥、曝光、溶洗、熱處理，即得LiNbO3薄膜微細圖形。本發明采用紫外掩膜板法或激光干涉法直接在凝膠膜光刻，無需其他輔助工藝，即可制備大面積微細圖形；浸漬提拉法獲得紫外感光LiNbO3凝膠薄膜，薄膜厚度易控制，可獲得較大尺寸凝膠膜，制備的LiNbO3微細圖形線條光滑，結構規整，薄膜沒有污染，性能穩定。
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