本實用新型公開了一種基于鈮酸鋰的波導陣列,包括:硅基襯底;沉積在所述硅基襯底上的二氧化硅緩沖層;位于所述二氧化硅緩沖層上的芯層;位于所述芯層上,并包覆所述芯層的二氧化硅包層;其中,所述芯層包括:左右對稱的兩個鈮酸鋰寬波導、第一鈮酸鋰光柵和第二鈮酸鋰光柵;所述第一鈮酸鋰光柵和第二鈮酸鋰光柵位于兩個所述鈮酸鋰寬波導之間;所述第一鈮酸鋰光柵位于所述第二鈮酸鋰光柵左邊。本實用新型可實現在1550nm光波段抑制波導間串擾,實現高透過率,低插入損耗。
聲明:
“基于鈮酸鋰的波導陣列” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)