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    鈮酸鋰薄膜雙Y分支光波導相位調制器

    1212   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 21:22:01
    本發明公開了一種鈮酸鋰薄膜雙Y分支光波導相位調制器,包括雙Y分支光波導相位調制器芯片,所述雙Y分支光波導相位調制器芯片包括襯底、二氧化硅層、光波導層和保護層,所述保護層上設有調制電極;所述光波導層包括鈮酸鋰薄膜層和鈮酸鋰脊形光波導,所述鈮酸鋰脊形光波導形成雙Y分支光波導結構,兩個所述Y分支光波導通過基波導連接,所述基波導的兩側設有輻射區。本發明中,在基波導的兩側設置輻射區,有效消除了輻射模在光路中耦合形成的串擾和噪聲問題。另外,基波導采用直線結構,無需進行彎曲波導設計,因而能夠使光波導的雙Y分支結構以及基波導區域的尺寸大大減小,進而實現雙Y分支光波導相位調制器的小型化。
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