本發明公開一種光纖及鈮酸鋰晶片氣動加壓研磨機構及研磨方法,包括三維空間定位裝置、氣動裝置與夾持機構。三維空間定位裝置的z軸移動機構轉接板上接有氣動裝置,氣動裝置上安裝有夾持機構。光纖鈮酸鋰晶片通過夾持裝置加持,并通過調節滑桿、梁式力傳感器與氣缸活塞桿相連。三維空間定位裝置可實現鈮酸鋰晶片夾持工具的精確定位及研磨微進給;氣動裝置可實現研磨壓力的改變是一個漸變過程,鈮酸鋰晶片夾持工具可穩定、快速地實現鈮酸鋰晶片的夾持。本發明用于實現光纖鈮酸鋰晶片的研磨過程中研磨壓力恒定不變、研磨壓力的變化過程為漸變過程,保證研磨后的端面質量以及研磨過程的平穩可靠,同時方便對研磨后的鈮酸鋰晶片中的光纖端面進行觀測。
聲明:
“光纖及鈮酸鋰晶片氣動加壓研磨機構及研磨方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)