本發明公開了一種鋰電池電極片的毛邊處理方法及裝置,該方法包括:S1、提供等離子體刻蝕裝置;S2、將鋰電池電極片豎直放置在所述等離子體刻蝕裝置腔室內的第二電極上;S3、將所述腔室抽至本底真空,并向腔室內通入反應氣體使腔室達到預定氣壓;S4、開啟并調節所述第一射頻源和第二射頻源,所述腔室內反應氣體被激發形成等離子體,所述等離子體對鋰電池電極片的剖面進行轟擊以進行刻蝕。本發明采用等離子體干法刻蝕的方法對鋰電池電極片剖面進行刻蝕處理,處理過程中等離子體中的高能離子將轟擊鋰電池電極片的剖面并產生刻蝕效果,以除去電極片邊緣的金屬毛刺和金屬粉塵,由此消除鋰電池電極片邊緣毛刺造成內部短路的隱患。
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