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    微型固態薄膜鋰電池的制備方法

    1052   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:29:40
    本發明涉及一種微型固態薄膜鋰電池的制備方法。本發明屬于化學電源技術領域。一種微型固態薄膜鋰電池的制備方法，其特點是：微型固態薄膜鋰電池的結構為玻璃/Al/V2O5/LiPON/Li/Cu；制備過程包括：采用磁控濺射法，沉積金屬Al薄膜作為正極集流體，沉積V2O5薄膜作為正極薄膜；采用原子層沉積技術，沉積鋰磷氧氮薄膜對正極薄膜進行修飾；采用磁控濺射技術，沉積鋰磷氧氮固態電解質薄膜，沉積金屬Li薄膜作為負極，最終完成微型固態薄膜鋰電池的制備。本發明對微型固態薄膜鋰電池正極/電解質薄膜界面進行了原子尺寸的修飾，能有效改善界面接觸效果，降低電池阻抗，提高電池性能。
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