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    鈮酸鋰單晶薄膜及其制作方法

    1170   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 21:29:40
    本發明提供鈮酸鋰單晶薄膜及其制作方法,制作方法包括:在原料鈮酸鋰晶圓的光學級表面上制備介質層;穿過介質層朝向光學級表面注入離子,離子穿透光學級表面后形成離子層,在離子層和介質層之間形成單晶鈮酸鋰薄層;將載體晶圓與介質層鍵合;加熱至第一預設溫度,使單晶鈮酸鋰薄層與原料鈮酸鋰晶圓分離并存留在介質層上;加熱至第二預設溫度,第二預設溫度大于第一預設溫度。通過單晶鈮酸鋰薄層與原料鈮酸鋰晶圓分離,并牢固地位于介質層上,以可實現穩定的光波導。
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