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    基于鈮酸鋰-硅晶圓的單片集成光模數轉換系統及制備方法

    748   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:29:42
    一種基于鈮酸鋰?硅晶圓的單片集成光模數轉換系統及制備方法，利用一種新型晶圓(鈮酸鋰?硅晶圓)，實現了包括電光調制器陣列、可調延時線陣列、電子電路等在內的電光多器件單片集成光模數轉換系統。使得多種器件在同一個芯片上制作出來，保證了系統的性能優勢及其穩定性。此外，本發明提出了一種CMOS兼容的系統制備方式，使得基于鈮酸鋰?硅晶圓的單片集成光模數轉換系統可以在多數芯片制造廠商的平臺上實現。
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