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    機器人鋰電池生產用全固態薄膜的制備方法

    1305   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:34:05
    本發明涉及電池領域，且公開了一種機器人鋰電池生產用全固態薄膜的制備方法，該制備方法適用于制備機器人鋰電池生產用全固態薄膜，其特征在于，包括以下步驟：選取基底層，用500目?3000目的砂紙對基片表面進行機械拋光，直至表面能發生鏡面反射；采用磁控濺射技術在基底表面沉積一層金屬流體層；采用負極活性物質材料作為靶材，安裝好靶材和基片以后關閉送樣室和外延室，利用機械泵，分子泵，離子泵將外延室真空抽至1×10?7Pa以下，調整靶材與基片間的距離為60mm，自轉速率為10?15轉/min，預濺射2?4h以上，采用對耙交替沉積的方法，每一塊靶材轟擊10?15下，本發明一種機器人鋰電池生產用全固態薄膜的制備方法，可以提高固態膜的密度，穩定性好。
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