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    硅-鈮酸鋰混合集成偏振分束旋轉器

    1160   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:34:53
    一種硅?鈮酸鋰混合集成偏振分束旋轉器，包括：兩個級聯的定向耦合器，兩定向耦合器通過一個S彎波導級聯，從而實現對TE和TM兩種偏振模式的傳輸和轉換，其中：第一定向耦合器包括：兩個90°的彎曲波導，通過優化彎曲波導的寬度和部分刻蝕的寬度改變兩個彎曲波導的等效折射率，當滿足相位匹配條件時得到最優解；第二定向耦合器包括：兩個寬度相等的直波導，其級聯在由彎曲波導構成的定向耦合器之后。本發明實現了鈮酸鋰薄膜與硅基光子器件的鍵合，偏振分束旋轉器是實現高性能硅?鈮酸鋰異質集成光電調制器的關鍵器件，解決了調制芯片中偏振耦合串擾的問題，能夠實現低損耗、大容量、大帶寬的信息互聯。
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