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    射頻等離子體增強化學氣相沉積實現磷酸鐵鋰導電層包覆的方法

    1178   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:34:53
    本發明公開了一種射頻等離子體增強化學氣相沉積實現磷酸鐵鋰導電層包覆的方法。它包括以下步驟：將磷酸鐵鋰置于反應室中，在稀釋的反應性氣體中，在射頻等離子體下，反應10～120min，反應室的總氣壓維持在10～1000Pa，射頻等離子體的電源輸出功率為60～400W，所述的稀釋的反應性氣體是由稀釋氣體和反應性氣體按照體積比5～20：1混合而成，所述的反應性氣體為硅烷、SiH3Cl、SiH2Cl2、硼烷、鍺烷、磷烷或任意兩者的混合氣體，所述的稀釋氣體為氫氣、氮氣、氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣中的任意一種，由此而制得導電層包覆磷酸鐵鋰。本發明與常規的化學氣相沉積相比，具有反應活性高，反應溫度低，反應時間短的優點。
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