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    用于制備無定形含鋰化合物的氣相沉積法

    931   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:35:38
    用于制備不含磷的無定形含鋰氧化物或氧氮化物化合物的氣相沉積法包括：提供該化合物的每一組成元素的蒸氣源，該蒸氣源包括至少鋰源、氧源、氧氮化物化合物的情況下的氮源、和一個或多個玻璃形成元素源；將基材加熱到基本上180℃或更高；和從該蒸氣源將該組成元素共沉積到該加熱的基材上，其中該組成元素在該基材上反應以形成該無定形化合物。
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    加工技術
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