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    鋰離子電池硅基合金薄膜及其制備方法

    1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:36:54
    本發明提供了一種鋰離子電池硅基合金薄膜的制備方法，屬于鋰離子電池技術領域。本發明提供的制備方法，包括以下步驟：在真空和惰性氣體條件下，開啟硅靶材和金屬靶材，對擋板進行預濺射；預濺射結束后，對基片進行濺射，得到鋰離子電池硅基合金薄膜。本發明采用預濺射，能夠避免將靶材表面可能存在的部分氧化物或污染物濺射到基片上，保證了硅基合金對基片的結合力及電化學性能；金屬靶材和硅靶材同時濺射沉積到基片上，保證了硅基合金薄膜的均勻性，能夠緩解硅的體積效應。
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