本發明公開了一種鋰離子電池多孔硅薄膜負極結構的制備方法,包括如下步驟:(1)在銅箔表面制備一層硅薄膜;(2)在硅薄膜表面制備一層均勻分布的催化金屬顆粒;(3)將覆蓋有催化金屬顆粒的一面置于氫氟酸和氧化劑的混合溶液中進行腐蝕從而在硅薄膜上制備孔洞結構;(4)對腐蝕后的硅薄膜進行去除催化金屬顆粒處理并烘干;(5)依次重復步驟(1)至(4)n次。本發明還提供了上述方法制備得到的鋰離子電池多孔硅薄膜負極結構。本發明制備的多孔硅薄膜負極結構因其每層硅薄膜中都均勻分布了納米孔洞,因此對于整體硅薄膜負極而言,其內部孔洞分布非常均勻,這可有效緩解硅薄膜的儲鋰膨脹效應,提升其循環穩定性。
聲明:
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