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    三維楔形鈮酸鋰薄膜波導裝置

    968   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:47:15
    本申請涉及半導體集成光電子器件技術領域，提供一種三維楔形鈮酸鋰薄膜波導裝置。該三維楔形鈮酸鋰薄膜波導裝置，自下而上包括依次層疊設置的襯底層、絕緣層和鈮酸鋰層，鈮酸鋰層包括楔形層和平板層，楔形層包括楔形尖端和楔形尾端，楔形尖端用于匹配光纖模場，楔形尾端用于連接器件功能區域。其中，楔形尖端的厚度小于楔形尾端的厚度，楔形尖端的寬度遠小于楔形尾端的寬度和平板層的寬度。本申請在實現水平方向波導模場擴展的基礎上，進一步實現了垂直方向波導模場的擴展，從而實現與光纖模場的更進一步匹配，獲得更高的纖芯耦合效率。
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    聲明：
    “三維楔形鈮酸鋰薄膜波導裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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