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    適用于離子交換的摻鋰玻璃薄膜的制備工藝

    747   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:48:08
    本發明屬于集成光學技術領域，具體公開了一種利用溶膠凝膠方法中的DC－RTA技術，制備適用于離子交換的摻鋰玻璃薄膜的工藝。該工藝的主要內容是首先配制好含有適當鋰離子的溶膠，然后將該溶膠均勻涂覆在基片上后高溫灼燒，使基片表面形成一層凝膠玻璃層。反復上述涂覆灼燒過程，直至凝膠玻璃層達到所需厚度。該薄膜具有理想的光學質量，并且可以使用傳統的離子交換工藝進行Ag+－Li+離子交換。該技術可以用來幫助生產、開發各類以硅酸鹽材料為基質的無源或有源光波導器件。在集成光學領域具有巨大的應用前景和工業價值。
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    加工技術
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