本發明公開了一種鉭酸鋰窄帶探測器及其制備方法,屬于熱釋電紅外探測器領域。探測器包括探測器本體和電磁超表面結構,電磁超表面結構設置在探測器本體上,其中,探測器本體包括從下至上設置的硅底座支撐、下電極、鉭酸鋰晶片、上電極,電磁超表面結構包括自下而上設置金背板、介質層以及天線,其中,金背板與上電極為同一物體,兩者共用。本發明還提供了鉭酸鋰窄帶探測器的制備方法,本發明采用超表面技術對傳統的熱釋電探測器沒有波長選擇性的缺陷進行改進,在一定波長范圍內能夠實現對特定波長的檢測,并且簡化了紅外探測器的制備流程。
聲明:
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