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    基于鈮酸鋰薄膜波導的高耦合效率的非均勻光柵耦合器

    901   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:51:08
    本發明涉及一種基于鈮酸鋰薄膜波導的高耦合效率的非均勻光柵耦合器，屬于集成光學領域和半導體領域，具體是一種基于LNOI平臺的高耦合效率的非均勻分段光柵耦合器。該光柵耦合器包括：絕緣鈮酸鋰薄膜上的光子芯片以及設置于其上方的光纖。絕緣鈮酸鋰薄膜上的光子芯片自上而下依次包括：波導耦合光柵、鈮酸鋰薄膜層、SiO2埋氧層、Au反射層以及LN襯底。本發明由于具有Au反射層，可以極大地減少光功率向襯底的泄露損失，提高光耦合效率；另外本發明具有非均勻的分段光柵結構，可以優化向上衍射光與光纖中的模場匹配，從而進一步提高光耦合效率。
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    “基于鈮酸鋰薄膜波導的高耦合效率的非均勻光柵耦合器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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