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    鈮酸鋰薄膜集成芯片、光電子器件和光纖陀螺

    902   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:51:08
    本發明實施例公開了一種鈮酸鋰薄膜集成芯片、光電子器件和光纖陀螺，該集成芯片自下而上依次包括襯底、下包層、鈮酸鋰薄膜波導芯層、上包層，其中，鈮酸鋰薄膜波導芯層包括依次連接的入射單元、起偏單元、Y分支耦合單元、模式濾除單元、Y分支分束單元、相位調制單元和諧振單元。本發明實施例通過利用鈮酸鋰薄膜低損耗、小尺寸、高電光性能等優勢，實現起偏、分束、合束、調制以及諧振等多種功能單片集成，解決了多種異質材料混合集成技術存在熱匹配、光耦合損耗等問題，提高芯片集成的集成度和可靠性，簡化工藝流程。
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