本發明公開了一種基于鈮酸鋰的電光型S彎曲可變衰減器。S彎曲波導依次由輸入波導、輸入錐形過渡波導、S彎曲衰減波導、輸出錐形過渡波導和輸出波導構成。其中S彎曲衰減波導的波導寬度小于輸入、輸出波導寬度;覆蓋電極經過SiO2緩沖層覆蓋在輸入錐形過渡波導、S彎曲衰減波導和輸出錐形過渡波導上方,并且覆蓋電極以S彎曲衰減波導中間點分為相連的兩部分,分別向S彎曲波導內側平移;接地電極結構組成與覆蓋電極相同,接地電極與覆蓋電極間距2~3μm,由兩個焊點引出。本發明具有體積小、易于集成的優勢;同時,由于鈮酸鋰材料具有很高的電光系數,所以用鈮酸鋰材料制作的可變衰減器具有低插入損耗,低電壓,易于集成。
聲明:
“基于鈮酸鋰的電光型S彎曲可變衰減器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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