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    基于鈮酸鋰薄膜的脊形波導端面耦合器

    837   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:52:05
    本申請涉及半導體集成光電子器件技術領域，提供一種基于鈮酸鋰薄膜的脊形波導端面耦合器，該端面耦合器具有異質兩步倒錐形波導的耦合結構，應用于將光纖中的光耦合進入薄膜鈮酸鋰芯片上的波導。該端面耦合器自下而上包括襯底層、絕緣層和耦合結構，其中，耦合結構包括順序相接的覆蓋波導、由氮化硅制成的第一步倒錐形波導、由LION薄膜材料制成的第二步倒錐形波導和器件波導。本申請首先將光纖與覆蓋波導端面對接，光纖模場尺寸與覆蓋波導匹配，光能量高效地進入覆蓋波導傳播；隨后，覆蓋波導中的模場又通過兩步倒錐形波導結構，依次且有效地轉換為條形波導模場和脊形波導模場，最終進入功能器件，從而實現高效率的纖芯耦合。
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    “基于鈮酸鋰薄膜的脊形波導端面耦合器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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