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    大尺寸超薄鉭酸鋰晶圓片的減薄方法

    1101   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:53:23
    一種大尺寸超薄鉭酸鋰晶圓片的減薄方法。本發明提供了一種“大尺寸、超薄”鉭酸鋰晶圓片的減薄方法，屬于半導體材料減薄技術領域。包括下列步驟：提供鉭酸鋰晶圓片，并用酸性腐蝕液腐蝕晶圓；采用不同型號砂輪對晶圓片進行分段式減薄，加工時調節砂輪轉速、工件進給速度進行減薄。本發明可解決大尺寸超薄晶圓片加工過程中的碎片問題，通過采用逐級減薄方式，分階段去除前一道留下的損傷層，提高了后工序的加工效率和加工質量。
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