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    鈮酸鋰薄膜光波導結構以及芯片

    751   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:56:14
    本實用新型公開了一種鈮酸鋰薄膜光波導結構以及芯片，其中，鈮酸鋰薄膜光波導結構，包括下包層、薄膜基板和上包層，下包層形成于基底晶片的上方，薄膜基板放置于下包層的上方；還包括下述結構中的一種：第一：薄膜基板的上表面形成有脊形結構，脊形結構為在薄膜基板的上表面形成得到的凸起結構；上包層由形成于脊形結構的左側、右側以及上方的介質材料構成；第二：薄膜基板進行完全的刻蝕處理，形成獨立的薄膜基板芯層，薄膜基板芯層放置于下包層的上方，上包層由形成于薄膜基板芯層的左側、右側以及上方的介質材料構成。本申請結構能夠降低光波導的折射率差，減少高階光波模式在鈮酸鋰薄膜光波導中的存在，并增大光波模式的空間分布尺寸。
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