本發明公開了一種全固態薄膜鋰離子電池3D薄膜負極及其制備方法,其中,全固態薄膜鋰離子電池3D薄膜負極包括三維交錯結構的電極集流體和覆蓋在所述電極集流體表面的負極薄膜;所述負極薄膜是采用金屬銻作為濺射靶、硫化氫氣體作為反應氣體,通過反應性磁控濺射法在所述電極集流體上沉積所形成的納米顆粒結構的Sb2S3薄膜。本發明的技術方案中,因為在3D基底上原位生長的Sb2S3負極薄膜為納米顆粒,顆粒之間呈二維結構,導電基底為交錯網狀結構,所以能夠有效緩解Sb2S3負極材料在充放電過程中的體積效應,制得的3D薄膜負極比容量高,倍率及循環性能優良。
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