本文提供了用于鋰離子電池電極的納米結構和制造方法。在一些實施方案中,提供了涂覆有硅基涂層的納米結構模版。所述硅涂層可以包括非保形的較多孔的富硅SiEx層和在所述非保形的較多孔層上的保形的較致密的SiEx層。在一些實施方案中,使用兩種不同的沉積工藝:PECVD層以沉積非保形的富硅SiEx層,和熱CVD工藝以沉積保形的層。富硅SiEx材料可防止硅晶疇生長,限制宏觀膨脹,增加鋰擴散速率并顯著提高鋰離子電池充電和放電循環期間的電池壽命。
聲明:
“用于鋰離子電池陽極的組成調整的硅涂層” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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