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    鈷酸鋰高密度旋轉靶材

    1077   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:58:30
    本實用新型公開了一種高密度鈷酸鋰旋轉靶材，包括由外至內依次設置的高溫燒結而成的高密度鈷酸鋰旋轉圓柱靶管、邦定層和剛性芯桿，所述靶管和剛性芯桿通過所述邦定層澆鑄粘接在所述剛性芯桿上，所述靶管成分為LiCoO2，密度為4.95g/cm3，相對密度不小于95％，厚度為5-15mm, 所述邦定層為熔點低于350℃的金屬，所述剛性芯桿為金屬芯桿，本實用新型解決了現有平面鈷酸鋰靶材利用率低，噴涂靶密度低及其性能不良的問題。
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