本實用新型提供一種鈮酸鋰調制器芯片的清洗系統,預沖洗裝置,用于提供霧化清洗液以沖洗待清洗的芯片;丙酮浸泡裝置,用于以丙酮浸泡經所述預沖洗裝置的霧化清洗液沖洗后的芯片;酒精浸泡裝置,用于以酒精浸泡經所述丙酮浸泡裝置處理后的芯片;強氧化劑清洗裝置,用于以強氧化劑清洗液浸泡經所述酒精浸泡裝置處理后的芯片;除雜沖洗裝置,用于提供霧化清洗液以沖洗經強氧化劑清洗裝置處理后的芯片。本實用新型提供的鈮酸鋰調制器芯片的清洗系統,利用該清洗系統可改善芯片表面的清潔度,可有效提高芯片合格率。
聲明:
“鈮酸鋰調制器芯片的清洗系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)