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    鋰離子電池錫鈦薄膜負極的磁控濺射制備方法

    727   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:10:50
    本發明屬于化學電源領域,具體涉及鋰離子電池用錫鈦薄膜負極的磁控濺射制備方法。其特征在于,使用純錫和純鈦兩個靶交替濺射或者共濺射制備錫鈦薄膜,然后在室溫至300℃間保持0-6h退火處理。在兩靶交替濺射方法中,交替次數大于1時,根據首先濺射的物質,可以形成Sn/Ti或Ti/Sn疊層膜。本發明所公開的方法工藝簡單,成本低,有利于環保;所制備的薄膜用作鋰離子電池負極,具有較高的比容量和優異的循環性能。
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