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    直線型補鋰設備

    744   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:11:14
    本實用新型涉及一種直線型補鋰設備，包括補鋰腔室及設于其內的放卷裝置、收卷裝置、至少兩個靶材安裝機構組及基片加熱機構；放卷裝置、收卷裝置用于對待補鋰的基片放卷、收卷；至少兩個靶材安裝機構組用于安裝補鋰的靶材且設于放卷裝置與收卷裝置之間，至少兩個靶材安裝機構組分別用于與放卷裝置與收卷裝置之間的基片的兩個側表面對應設置；各組內的靶材安裝機構的數量均為多個，且同一組內的多個靶材安裝機構在自放卷裝置至收卷裝置的方向上依次呈直線分布；基片加熱機構包括加熱安裝機構及設于加熱安裝機構上的加熱片，加熱安裝機構設于各組內的相鄰兩個靶材安裝機構之間，加熱片用于對放卷裝置與收卷裝置之間的基片加熱。
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    “直線型補鋰設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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