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    > 采用質子交換方法在漸變周期極化鉭酸鋰上形成光波導量子芯片的方法

    采用質子交換方法在漸變周期極化鉭酸鋰上形成光波導量子芯片的方法

    705   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:13:18
    本發明涉及一種采用質子交換方法在漸變周期極化鉭酸鋰上形成光波導量子芯片的方法，屬于光電子器件制備方法領域，包括以下步驟：將漸變周期極化鉭酸鋰襯底進行清洗；在襯底表面依次鍍制鈦膜和鉻膜；在鉻膜表面進行紫外光刻，形成質子交換用掩膜樣品；將得到的樣品進行200～300攝氏度質子交換，形成條形光波導；對垂直于光波導的兩個端面進行光學研磨、拋光；對波導進行通光實驗以測試光波導性能；將拋光后的兩個端面進行光纖端面耦合和紫外膠固化，光纖跳線兩端分別作為輸入和輸出端，制備出光量子芯片。本發明能夠制備出高性能、低傳輸損耗、微米量級且較好保持晶體非線性的光波導芯片，晶體非線性調諧范圍寬。
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