在本發明中,引入了一種用于制造用于電化學儲能裝置的材料的方法,使得基于激光燒蝕的沉積方法被用于制造至少一個包含鋰的材料層。該方法的特征在于,使用從激光燒蝕生成的電磁輻射的光譜中獲得的測量信息來控制該工藝。在沉積中可以使用所謂的輥對輥方法,其中將待涂覆的基底(15、32、44、64、75、85)從一個輥(31a)引導至第二輥(31b),并且沉積發生在輥(31a?b)之間的區域。此外,轉動和/或移動反射鏡(21)可用于將激光束(12、41、71a?d、81a?d)作為光束線陣列(23)引導至靶材(13、42a?b、72a?d、82a?d、82A?D)的表面。
聲明:
“利用激光燒蝕涂層產生包含鋰的材料層或多層結構的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)