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    可排出氫氣的鋰電池鋁箔電極沉積石墨烯薄膜用PECVD裝置

    820   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:32:42
    可排出氫氣的鋰電池鋁箔電極沉積石墨烯薄膜用PECVD裝置，把真空沉積的PECVD腔體分成沉積室、氣體分離室、儲氫室，沉積過程使內部的氣體流動循環，循環中通過僅可通過氫氣的氫氣濾膜過濾出氫氣并排出到PECVD腔體外，在鋁箔電極表面用等離子增強化學氣象沉積碳形成石墨烯薄膜過程減少因氫含量過高影響石墨烯結構形成和沉積石墨烯不均勻，屬于電池材料設備技術領域。
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