本實用新型公開了一種鋰離子電池材料的連續式真空化學氣相沉積設備,要解決的技術問題是精確控制包覆層的膜厚。本實用新型設有反應室和傳動裝置,反應室為移動裝置,傳動裝置為傳輸帶循環式傳動機,整個傳動裝置穿置于兩端為敞口的四周封閉的分別為預熱段、真空沉積段和降溫段的流程通道內。本實用新型與現有技術相比,采用傳動裝置和可移動式反應室,實現了以流水線、自動化作業的方式進行化學氣相沉積工藝,實現了對粉狀基體進行包覆的加工工藝,工藝簡單,容易精確控制包覆層的厚度,生產效率高,降低了生產成本,對環境無污染。
聲明:
“鋰離子電池材料的連續式真空化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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