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    用離子注入和退火制備鈮酸鋰晶體波導的方法

    899   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:40:06
    本發明用離子注入和退火制備鈮酸鋰晶體波導 的方法，至少應包含離子注入和電子束退火等步驟。采用能量1MeV～6MeV的C+，Cu+等離子注入，注入劑量在1×1013離子/平方厘米到5×1015離子/平方厘米范圍內，在注入區內造成折射率的改變，然后利用聚焦電子束或者激光束掃描，使掃描區的折射率增高，形成埋層或者溝道形式的光波導。光波導的導波模式可以由工藝參數控制。該方法的線寬可以達到納米量級?？梢灾瞥苫跅l形波導結構的光器件和折射率光柵。
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