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    > 非晶硅薄膜鋰電池

    非晶硅薄膜鋰電池

    791   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 22:44:22
    本發明公開了一種非晶硅薄膜鋰電池,包括機身以及設置在所述機身內的第一滑動腔,所述第一滑動腔內可左右滑動的設置有第一滑動塊,所述第一滑動塊前后對稱設置有左右貫穿的第一通孔,所述第一通孔內滑動設置左右延伸的第一光桿,所述第一光桿左右兩端固定安裝在所述第一滑動腔左右端壁內,所述第一滑動塊前后端壁內對稱設置有開口向外的第一空腔,所述第一空腔下底壁內固定安裝有齒條;本發明結構簡單,操作方便,通過采用機械結構與光學結構結合,自動進行非晶硅薄膜的刻蝕,不僅自動化程度高,而且不受非晶硅薄膜負面限制,能夠完成大批量大幅面高質量非晶硅薄膜刻蝕,提高了刻蝕效率與質量,提高了裝置實用性能。
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