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    基于超薄氧化鋰高k介電層薄膜晶體管的制備方法

    774   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:45:39
    本發明屬于半導體薄膜晶體管制備技術領域，涉及一種基于超薄氧化鋰高k介電層薄膜晶體管的制備方法，選用低阻硅作為基底和柵電極，采用熱退火的方式制備超薄Li2O柵介電層和高透過率、化學穩定性良好的In2O3半導體溝道層，進一步制備高性能、低能耗的TFT器件；其工藝簡單，原理可靠，低成本，能耗少，制備的產品性能好，應用前景廣闊，為大面積制備高性能的薄膜晶體管提供可行性方案。
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    “基于超薄氧化鋰高k介電層薄膜晶體管的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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