本發明提供一種改善石英襯底鈮酸鋰調制器芯片頻率特性的結構與方法。該結構包括:載體芯片;設置在載體芯片上表面的有地共面波導結構以及設置在調制器芯片上表面的無地共面波導結構;分別設置在有地共面波導結構兩端的芯組互聯結構;設置在載體芯片下表面的金屬接地層;分別設置在第一接地區域上的多個金屬接地孔;分別設置于第一接地區域上和/或第二接地區域上的多個接地微凸點;設置在行波傳輸線兩端的輸入電極和輸出電極;設置在輸入電極上和/或寬帶傳輸線的輸入端上的輸入微凸點;設置在輸出電極上和/或寬帶傳輸線的輸出端上的輸出微凸點;調制器芯片的上表面設置在載體芯片的上表面。本發明能夠提升接地連續性,進而提升芯片工作頻率。
聲明:
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