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    用于鋰電保護的開關器件及其制作方法

    953   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:46:24
    本發明提供一種用于鋰電保護的開關器件及其制作方法，該開關器件包括：P+型襯底及P?型外延層；N型阱區；兩個P型阱區；兩個柵極結構；共用的N?型漂移區，形成于兩個柵極結構之間；N型源區及P+型接觸區；介質層，所述介質層中打開有兩個源區接觸窗口及一體區接觸窗口，所述體區接觸窗口內的所述P?型外延層被去除形成直至所述P+型襯底的溝槽；以及填充于所述源區接觸窗口、體區接觸窗口及所述溝槽內的電極材料。本發明采用共用漂移區的方式構建MOSFET器件，使得漂移區區域電阻可以大大降低，同時保證耐壓不變。將其中一個源區電極通過與體區電極的方式引到芯片背面，封裝時可與基底焊接，省掉一個打線電阻，在極低的內阻要求下非常有效。
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    聲明：
    “用于鋰電保護的開關器件及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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