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    硫化鉬/鈮酸鋰復合型光收發器件及制備方法

    1086   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:49:06
    本發明提供了一種硫化鉬/鈮酸鋰復合型光收發器件及制備方法，包括單晶LiNbO3，形成于單晶LiNbO3表面的層狀MoS2層，與MoS2層部分重疊的p型材料層，以及電極，所述電極放置于單晶LiNbO3，MoS2層、p型材料以及MoS2層與p型材料重疊部分的上方或者包括p型硅基襯底，HfO2層，MoS2二維材料層，LiNbO3晶態薄膜與電極，所述HfO2層部分覆蓋硅基襯底，所述MoS2二維材料層與所述HfO2層部分重疊，所述LiNbO3晶態薄膜設置于MoS2二維材料層和HfO2層重疊部分上。本發明采用LiNbO3來增強MoS2二維材料的光電性能，可以降低工藝成本；相比傳統的調制器，用MoS2/LiNbO3復合型光收發器插損降低，對硅的依賴性降低，無需控制硅成分嚴格控制，只要通過異質結堆疊步驟，可以獲得低功耗、小體積的光收發器。
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