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    用于鋰電保護的開關器件及其制作方法

    776   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 22:49:09
    本發明提供一種用于鋰電保護的開關器件及其制作方法，包括：P+型襯底及P?型外延層；第一絕緣溝槽，形成于體接觸區域；N型阱區；兩個P型阱區；兩個柵極結構；共用的N?型漂移區，形成于兩個柵極結構之間；N型源區及P+型接觸區；介質層，其打開有兩個源區接觸窗口及一體區接觸窗口，所述體區接觸窗口內的所述絕緣介質被去除形成第二溝槽，且第二溝槽側壁保留有絕緣介質；以及填充于所述源區接觸窗口、體區接觸窗口及所述第二溝槽內的電極材料。本發明采用共用漂移區的方式構建MOSFET器件，大大降低漂移區區域電阻，同時保證耐壓不變；將其中一個源區電極引到芯片背面，可有效降低器件內阻；體區電極側壁的絕緣介質可有效降低漏電流，并提高耐壓。
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    “用于鋰電保護的開關器件及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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