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    氨基吡啶基硅化合物及其應用

    882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:00:31
    本發明涉及一種氨基吡啶基硅化合物，采用以下方法制備：(1)將氨基吡啶或其衍生物溶解在反應溶劑中，在-78～0℃攪拌條件下加入烷基鋰溶液，氨基吡啶或其衍生物與烷基鋰的摩爾比為1:1～1.2；恢復到室溫后繼續攪拌反應0.5～3小時，得到反應混合物；(2)將步驟(1)得到的反應混合物過濾，得到鋰鹽固體，將鋰鹽固體溶于有機溶劑中，得到鋰鹽溶液；(3)在-78～0℃按照鋰鹽與含硅反應物摩爾比1～4：1，向鋰鹽溶液中滴加含硅反應物或其溶液，升至一定溫度反應3～10小時；(4)將步驟(3)得到的反應混合物進行過濾，濾液濃縮后結晶或減壓蒸餾得到氨基吡啶基硅化合物。本發明所述化合物可以在集成電路生產中用于制備氮化硅、含碳氮化硅等薄膜。
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