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    液態金屬回路極紫外光源系統

    833   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:05:34
    本實用新型公開了一種液態金屬回路極紫外光源系統，外殼體頂部插入有輸送液態金屬的進液靶管，進液靶管下方設置有液態鋰靶設備，液態鋰靶設備下方設置有出液靶管，出液靶管將液態金屬輸送至鋰罐體，過濾罐體設置于鋰罐體內部，過濾罐體通過管道與電磁泵，電磁泵的出口端通過管道與進液靶管連接，外殼體側面與液態鋰靶設備位置對應處具有連通的極紫外光源出口，外殼體側面具有連通的激光束入管，激光束入管處設置有激光器，激光器產生的激光作用于液態鋰靶設備之上，激光束入管側面具有連通的真空管，真空管與抽真空設備連接，鋰罐體外側纏繞有電發熱絲，鋰罐體具有連通的真空泵接頭，解決現有技術中需要產生穩定高效的13.5nm光源的技術問題。
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    聲明：
    “液態金屬回路極紫外光源系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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