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    用于紅外焦平面器件的鐵電單晶薄膜制備方法

    870   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:05:35
    本發明公開了一種用于紅外焦平面器件的鐵電單晶薄膜制備方法。其方法是將硅基襯底上的鉭酸鋰(LiTaO3)單晶薄膜剝離下來轉移到特定的襯底上，保留單晶體材料的熱釋電性能，關鍵技術包括腐蝕硅基襯底的工藝條件、自支撐薄膜轉移、電極制備與性能測試。首先，利用把硅基鉭酸鋰薄膜放置于腐蝕液中，在一定的溫度下反應一段時間，然后轉移到酒精中進行二次轉移操作，使其在特定襯底上形成自支撐薄膜。然后，利用電子束蒸發制備上下電極，用自制的熱釋電系數測試系統測量單晶薄膜的熱釋電系數。該技術可以獲得大面積、均勻的自支撐鉭酸鋰單晶薄膜，可用于制備高靈敏的非制冷紅外焦平面器件。
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    加工技術
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