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    復合基板、彈性波元件及復合基板的制造方法

    873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:11:36
    在將包含鉭酸鋰等的壓電性材料基板和包含水晶的支撐基板接合時，使接合強度提高，使得即便減薄壓電性材料基板也不會剝離。復合基板7、7A具有：支撐基板4，其包含水晶；壓電性材料基板1、1A，其包含選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰及鈮酸鋰－鉭酸鋰構成的組中的材質；以及界面層5，其處于支撐基板4與壓電性材料基板1、1A的接合界面。界面層5為以鉭和鈮中的至少一者、硅及氧為構成成分的非晶質結構。界面層5中的氫原子濃度、氮原子濃度及氟原子濃度分別為1×1018atoms/cm3以上5×1021atoms/cm3以下。
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