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基于鐵電金屬異質結的憶阻器及其制備方法

913 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 23:14:01

基于鐵電金屬異質結的憶阻器,其中憶阻器材料鐵電鈮酸鋰,采用脈沖激光沉積系統制備:將單晶LN靶材(4)固定在脈沖激光沉積制膜系統的靶臺(5)上,放置在脈沖激光沉積制膜系統的生長室(6)中;生長室中的真空抽到0.8×10-4Pa以下,并通入氧氣,氧氣壓25～35Pa間,將襯底溫度升到600～650℃間;啟動KrF準分子激光器,根據單脈沖能量,確定沉積時間,沉積厚度為30nm～200nm厚LN薄膜;原位500～650℃退火20～90min;該薄膜具有自發極化和180°疇界。將憶阻器鐵電鈮酸鋰薄膜夾在兩金屬電極膜之間構成微型三明治結構憶阻器單元。該器件可應用于高密度低能耗非易失性阻變存儲器。

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聲明：

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我是此專利(論文)的發明人(作者)