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    聲學諧振器的制備方法和聲學諧振器

    1128   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:14:02
    本發明涉及一種聲學諧振器的制備方法和聲學諧振器，所述聲學諧振器的制備方法，提供包括鈮酸鋰和鉭酸鋰中的一種的壓電襯底，并且于底電極層上沉積第一聲反射層，通過選擇壓電襯底的特定方向，采用上述聲學諧振器的制備方法制備的聲學諧振器可以被激勵為厚度方向剪切振動模式，由于該聲學諧振器采用更為優越的厚度方向剪切振動模式并選用可以支持該振動模式的鈮酸鋰或坦酸鋰材料，因此，該聲學諧振器可以在3GHz以上的頻率下支持高機電耦合。
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    “聲學諧振器的制備方法和聲學諧振器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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