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    基于LNOI薄膜的集成微型光幅相控制器

    884   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:15:12
    基于LNOI薄膜的集成微型光幅相控制器，屬于光電子技術領域，由LNOI薄膜上的光波導和行波電極所構成，LNOI薄膜由鈮酸鋰層與SiO2緩沖層構成，在鈮酸鋰層上面采用沉積的方法形成鈮酸鋰異構單模波導構成光波導，在該光波導兩側設置相位控制器電極，構成相位控制單元；之后光波導分為平行兩路，在該兩路光波導間設置幅度控制器電極，構成幅度控制單元，之后該兩路光波導合束進行干涉，作為光的幅相控制后的輸出波導。本發明可以根據需求對光場同時進行相位和幅度的調控；并且波導結構為薄膜鈮酸鋰與氮化硅異構，使得幅相控制器具有低損耗、高調制效率、高集成度等優點，具有潛在經濟與應用價值，能夠在光探測和光通信領域中得到廣泛的應用。
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